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中電科13所敦少博:高耐壓氧化鎵功率器件研制進(jìn)展與思考

發(fā)表于:2023-08-01 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

?以金剛石、氧化鎵、氮化硼為代表的超寬禁帶半導(dǎo)體禁帶寬度、化學(xué)穩(wěn)定性、擊穿場(chǎng)強(qiáng)等優(yōu)勢(shì),是國(guó)際半導(dǎo)體領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。其中,氧化鎵(Ga2O3)具有超寬禁帶、超高臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)、抗輻照和低成本等優(yōu)勢(shì),被譽(yù)為下一代電力電子器件最有利的競(jìng)爭(zhēng)者,在高壓、大功率、高效節(jié)能等方面有非常大的應(yīng)用潛力。

敦少博

近日,“2023功率與光電半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及集成應(yīng)用論壇”于西安召開。論壇由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)指導(dǎo),西安交通大學(xué)、極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.casmita.com)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主辦,西安電子科技大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、CASA人才發(fā)展委員會(huì)、全國(guó)半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)教融合(東莞)職業(yè)教育集團(tuán)聯(lián)合組織籌辦。期間,“平行論壇1:功率半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)及集成應(yīng)用”上,中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高級(jí)工程師敦少博帶來(lái)了題為“高耐壓氧化鎵功率器件研制進(jìn)展與思考”的主題報(bào)告。

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所是中國(guó)成立最早、規(guī)模最大、技術(shù)力量雄厚、專業(yè)結(jié)構(gòu)配套的綜合性半導(dǎo)體研究所。主要涉及微電子、光電子 ink>和微機(jī)械電子系統(tǒng)(MEMS)等三大領(lǐng)域。報(bào)告詳細(xì)介紹國(guó)內(nèi)外在高耐壓氧化鎵MOSFET和SBD器件方面的最新進(jìn)展,同時(shí),介紹了中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所在高耐壓氧化鎵功率器件方面所提出的一些新型器件結(jié)構(gòu)和新工藝技術(shù)。

報(bào)告指出,P型摻雜技術(shù)缺失依然是氧化鎵功率器件發(fā)展面臨的重大瓶頸問(wèn)題,開發(fā)新型終端結(jié)構(gòu)、尋求替代方案是目前國(guó)際研究熱點(diǎn)之一 。氧化鎵二極管相對(duì)更成熟一些,小尺寸二極管進(jìn)展迅速,部分性能已超越SiC材料理論極限, 在高壓、低導(dǎo)通特性顯現(xiàn)出一定的性能優(yōu)勢(shì)。當(dāng)前仍亟需材料、器件與應(yīng)用端協(xié)同攻關(guān),實(shí)現(xiàn)高性能大尺寸功率器件研制,推動(dòng)氧化鎵功率器件工程化應(yīng)用。

CASICON 系列活動(dòng)簡(jiǎn)介

?“先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)大會(huì)(CASICON)” 由【極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)】主辦,每年在全國(guó)巡回舉辦的行業(yè)綜合活動(dòng)。活動(dòng)聚焦先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱點(diǎn),聚合產(chǎn)業(yè)相關(guān)各方訴求,通過(guò)“主題會(huì)議+項(xiàng)目路演+展覽”的形式,促進(jìn)參與各方交流合作,積極推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。CASICON 系列活動(dòng)將以助力第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為己任,聯(lián)合實(shí)力資源,持續(xù)輸出高質(zhì)量的活動(dòng)內(nèi)容,搭建更好的交流平臺(tái),為產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)應(yīng)盡的力量。

(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)整理未經(jīng)嘉賓本人確認(rèn),僅供參考!)

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